第九四二章京城半导体设备公司（下）

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院长邓国辉兼任光刻机光源研究所所长，副院长欧阳民兼任硅晶圆研究所所长。

光刻机精密设备研究所、刻蚀机研究所、光刻机热处理研究所�

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